真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)

1、引言

適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機(jī)可用于強(qiáng)酸、強(qiáng)堿性涂覆溶液的涂膜制備。

2、主要技術(shù)指標(biāo)

電源：AC220V 50Hz

功率：350W

真空度:MAX -0.08MPa

轉(zhuǎn)速：500rpm-6000rpm

時(shí)間：1s-60s

尺寸：?250mm×290mm

重量：25kg

我公司專業(yè)生產(chǎn)銷售：洛式硬度計(jì)，維式硬度計(jì)，布氏硬度計(jì)，顯微維氏硬度計(jì)，便攜式硬度計(jì)，磁力式洛式硬度計(jì)，里氏硬度計(jì)，超聲波硬度計(jì)，金相切割機(jī)，全自動(dòng)金相試樣切割機(jī)，金相磨拋機(jī)，金相預(yù)磨機(jī)，金相拋光機(jī)，全自動(dòng)金相試樣磨拋機(jī)，手動(dòng)金相試樣鑲嵌機(jī)，全自動(dòng)金相鑲嵌機(jī)。金相拋光劑，金相拋光粉，金相砂紙，金相拋光布，金相切割片，冷鑲嵌樹脂，金相鑲嵌粉，導(dǎo)電鑲嵌粉，透明鑲嵌粉，倒置金相顯微鏡，正置金相顯微鏡，進(jìn)口金相顯微鏡，體視顯微鏡，視頻顯微鏡，生物顯微鏡，熒光顯微鏡，手動(dòng)影像測(cè)量?jī)x，全自動(dòng)影像測(cè)量?jī)x，一鍵閃測(cè)儀，測(cè)量投影儀。粗糙度儀，輪廓儀，圓柱度儀

真空旋真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)轉(zhuǎn)涂膜機(jī)腔體不可抽真空，工作時(shí)利用真空盤吸附的方式將樣品固定在載樣盤上，該設(shè)備可儲(chǔ)存12組程序，每組程序包含6個(gè)運(yùn)行階段。不同運(yùn)行階段設(shè)備轉(zhuǎn)數(shù)不同，使設(shè)備緩慢提升速度限速度，有利于薄膜材料在樣品表面均勻成膜，且不會(huì)過多浪費(fèi)，節(jié)約材料。腔室的上蓋可以對(duì)樣品進(jìn)行加熱（可選功能），有利于粘稠度大的薄膜材料的涂覆過程的進(jìn)行。具有操作簡(jiǎn)單、清理方便，體積小巧等優(yōu)點(diǎn)，主要應(yīng)用于各大專院校、科研院所的實(shí)驗(yàn)室中進(jìn)行薄膜的生成過程

一、技術(shù)參數(shù)

1. 轉(zhuǎn)速范圍：500-6000 rpm（分兩段程序控制，低速段500 rpm，高速段6000 rpm）時(shí)間設(shè)置：1秒-60秒（每段程序可獨(dú)立設(shè)置）

2. 功率：200W（標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)），部分型號(hào)支持加熱功能（總功率≤1150W）

3. 真空泵流速：≥60 L/min（無油雙杠真空泵，真空度可達(dá)-0.08 MPa）

4. 腔體材質(zhì)：聚丙烯（耐酸堿腐蝕，抗應(yīng)力開裂）

5. 適用樣件尺寸：φ153mm、φ203.5mm及定制吸盤

二、核心功能特點(diǎn)

1. 二段程序控制

• 低速段注膠：設(shè)置注膠時(shí)間后，設(shè)備提升至高速段勻膠，減少材料浪費(fèi)

• 轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性±1%，確保涂層均勻性

2. 真空吸附與固定方式

• 真空吸附：通過真空盤固定樣品，真空度達(dá)-0.08 MPa，適用于常規(guī)樣件

• 夾持/粘結(jié)：真空狀態(tài)下需采用夾持或粘結(jié)固定，避免樣品氧化

3. 環(huán)境適應(yīng)性

• 惰性氣體兼容：支持Ar、N?等惰性氣體氛圍涂層

• 耐腐蝕腔體：聚丙烯材質(zhì)適用于強(qiáng)酸、強(qiáng)堿溶液

4. 安全與操作

• 開蓋保護(hù)：運(yùn)行中開蓋時(shí)自動(dòng)減速停機(jī)，防止樣品飛濺

• 全英文界面：支持多語言操作，兼容國(guó)際實(shí)驗(yàn)室需求

三、應(yīng)用領(lǐng)域

1. 科研實(shí)驗(yàn)：大專院校、科研院所的薄膜材料制備（如溶膠-凝膠法涂層）

2. 工業(yè)制程：半導(dǎo)體、光盤、制版等表面涂覆工藝

3. 特殊場(chǎng)景：可置于手套箱內(nèi)使用（需外置控制與真空泵）

四、安裝與使用條件

1. 環(huán)境要求：

• 溫度：5-40℃，濕度≤85% RH（無凝露）

• 海拔：≤1000m

2. 配套需求：

• 電源：AC220V/50Hz，接地良好

• 工作臺(tái)：尺寸≥600mm×600mm×700mm，承重≥50kg

• 通風(fēng)裝置：需配備排氣系統(tǒng)

五、優(yōu)勢(shì)與創(chuàng)新

1. 結(jié)構(gòu)優(yōu)化：鑄鋁機(jī)身+聚丙烯腔體，兼顧穩(wěn)定性與輕量化

2. 維護(hù)便捷：無油真空泵設(shè)計(jì)，減少污染且維護(hù)簡(jiǎn)單

3. 擴(kuò)展性：支持12組程序存儲(chǔ)，適配復(fù)雜工藝需求

六、典型配置與選配件

• 標(biāo)準(zhǔn)配件：真空吸盤（φ153mm）、滴液器、無油真空泵

• 可選配置：加熱模塊（室溫-200℃）、不同尺寸吸盤、惰性氣體接口